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    稳定的超纯水 (UPW) 制备对微电子制造至关重要。同纳采用多项独创FUN88官网备用网址工艺保证TOC、超微颗粒物、半导体元素硅和硼的高效去除,为生产线提供优质的超纯水。同时在提高水的利用率、节省用电能耗、提高关键设备(反渗透膜、EDI、抛光树脂)的使用寿命方面具有国际领先的FUN88官网备用网址能力。

  • 稳定的超纯水制备和监测

    同纳为要求严苛的半导体生产线提供稳定、高效、节能的超纯水 (UPW) 和回收/循环成套系统。同纳专注于关键微电子制造领域对超纯水水质的极高要求,对紫外TOC去除器的设计选型及安装方式、颗粒物过滤器及滤芯的选材及洁净等级、抛光树脂床的运行及冲洗方式等都进行十分科学的计算及配置。同时在供水端设置严格的监测及自动控制,确保优质的超纯水进入生产线。生产线产生的各种冲洗废水全部收集后,再采用同纳自主设计并已在多家大型微电子企业成功运行的废水回收处理系统处理后,重新处理成纯水或超纯水供给生产车间,水的总利用率达到95%以上,为相关企业带来了显著的经济和环境效益。

  • 我们可以为您做好

    适用于化学机械抛光、晶片抛光、清洁漂洗、切割和研磨等的所有超纯水 (UPW)

    来自海水或苦咸水水源的超纯水 (UPW)

    通过废水处理减少重金属、废酸、颗粒物和有机化合物含量

    水回收和回用系统

    节能计划

    用于超纯水 (UPW) 和回收水的大量程灵敏的总有机碳TOC分析仪

    用于硼/二氧化硅控制的超纯水 (UPW) 含量分析仪;超微颗粒物含量在线分析仪等

  • 解决方法

    使用美国GE/HACH 的总有机碳 (TOC) 分析仪进行控制

    微电子和半导体制造商对超纯水中总有机碳 (TOC)要求十分严格,配置的在线TOC分析仪在灵敏度、稳定性方面完全满足控制要求。

    满足您的所有超纯水(UPW)需求

    同纳拥有教授领衔的FUN88官网备用网址团队,完全根据源水或回收水的水质以及您对超纯水水质的FUN88官网备用网址要求进行量身设计,满足您各方面的FUN88官网备用网址及商务需求。

    在纯水生产过程中使用RO膜、电去离子 (EDI)、抛光树脂

    超低压节能RO膜、一对一的电源及产水控制EDI、串/并联可切换的抛光混床安装方式保证满足您的节能、稳定、高效的FUN88官网备用网址要求。

  • 应用FUN88官网备用网址

  • 1、优化的FUN88官网备用网址工艺和严格的自动控制

    超纯水制备包括预处理、双级反渗透、EDI脱盐、抛光混床处理等主要工艺流程,前道工艺的处理效率直接影响后续工艺及最终产水水质

    同纳通过对每步工艺设备运行参数的反复计算,再将各步工艺组合后进行优化,使得所有前道工艺的水质、水量、压力等参数完全适合后道工艺的最佳需求。既保证了最终为生产线提供优质的超纯水,又使得所有关键设备处于合适的运行条件,提高了设备的使用寿命,降低了运行能耗。

    每道主要工艺的产水都设置在线监测仪表及自动控制阀

    只有当产水FUN88官网备用网址参数满足后续设备的FUN88官网备用网址要求时,自动阀才会允许其进入后道工艺,否则会自动返回前道工艺重新处理,并进行报警提示。

    同纳设计和推出了一套优化的超纯水制备工艺,通过自动控制为生产线供应优质超纯水。所有关键设备都能处于最佳的运行状态,运行稳定、延长寿命、降低成本,提高纯水系统的投资回报率,并确保生产线供水安全、稳定。

  • 2、废水的回收利用和源水利用率的提高

    超纯水在微电子或半导体生产线使用后的废水中主要含有与生产线工艺相关的杂质,采用同纳的回收水处理工艺后得到的水质会优于普通市政自来水

    超纯水用于生产线冲洗后的废水除含有重金属离子、悬浮硅粉、少量表面活性剂等污染物外,其它杂质含量极低。同纳采用独创的废水回收处理工艺,主要针对上述污染物进行高效去除,产水的电导率一般小于150µS/cm,远低于市政自来水的电导率。

    一级反渗透浓水用于超滤反冲洗

    一级反渗透系统的浓水是超纯水制备过程中影响水利用率的最大因素,同纳会将一级反渗透浓水全部收集后用于超滤或砂、碳滤的反冲洗用水,其余用于卫生间冲洗、绿化浇灌等。

    我们能帮助您实现:

    生产线废水95%以上实现回收利用,节省了水资源、降低了排放污染

    为企业带来了显著的经济效益

    实现了绿色GDP,为人类赖以生存的地球村做了贡献

  • 相关工工程经历

    达迩科技(上海)有限公司晶片切割及研磨废水(水量 25m3/h,回用率≥95%)回用处理项目

    乐山-菲尼克斯半导体有限公司龙工程项目电镀及高压冲洗废水(水量 30m3/h,回用率≥ 90%)回用处理系统

    成都先进功率半导体股份有限公司电镀及高压冲洗废水(水量 50m3/h,回用率≥90%)回 用处理系

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